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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器

  • 產(chǎn)品型號(hào):Pura Plus
  • 產(chǎn)品廠商:英國Michell露點(diǎn)傳感器
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的*新需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器是一款在線微量濕度異動(dòng)變送器,多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)*末端,用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜,涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。
詳情介紹:
Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器

Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器技術(shù)指標(biāo)

響應(yīng)速度 <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動(dòng)1 ppb 的響應(yīng)時(shí)間
濕度量程 1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍 0 to 10 bar
耐壓等級(jí) 300 bar
泄漏測試 0-9 mbar l/s
工作流量范圍 1 ~ 10 l/min
工作溫度 5 ~ 40°C
存儲(chǔ)溫度 30 ~ 70°C
電源 20 ~ 28 V DC
功耗 5 W *大
外部保險(xiǎn)絲等級(jí) 500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出 Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報(bào)警輸出 2 路
*大電壓 40 V DC
*大電流 100 mA
氣體接觸的材質(zhì)
外殼材質(zhì) 不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu) 氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護(hù), 下層鋁層
內(nèi)部容積 4.4cm3
重量 450g
氣路接口 1/4" m VCR
電氣接口 9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性 EN50081-2 和 EN50082-2

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